ナノサイエン・スインスティテュート

ナノサイエンス・インスティテュートについて

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学科新着情報

2014年06月17日
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教育・研究設備

 ナノサイエンスの教育・研究では、下記のような施設や大型研究装置が欠かせません。ナノサイエンス・インスティテュートでは、これらの装置の経験を積むために少人数教育の特色を活かし、学生実験にも使われています。これらの他にも、各研究室では先端研究に必要な様々な実験装置が活躍しています。

微細加工室(クリーンルーム)

 微細な素子の線幅は埃よりも小さいため、これらを作製するためには埃は大敵です。そのため、埃の量を非常に少なくしたクリーンルームが整備されています。埃の進入を防ぐためのエアシャワーを備えた前室(左上)、微細なパターンを焼付けるためのマスクアライナー(右上)やそれらに必要な周辺機器(左下)、薬品を安全に扱うためのドラフト(右下)ほか、真空蒸着装置や炉なども設置されています。

透過型電子顕微鏡

 非常に薄い試料全体に、光の代わりに電子線をあて、それを透過してきた電子が作り出す像(正確には干渉像)を観察します。光学顕微鏡でははっきり見えない1 μm (1 × 10-6 m)以下の構造を観察することができます。電子線の干渉を用いているので、電子線回折から結晶構造を調べることもできます。

走査型電子顕微鏡

 電子線を絞って電子ビームとして試料に照射し、観察する試料表面から放出される電子(2次電子や反射電子)を検出します。透過型と異なり厚い試料も観察でき、電子線をあてる位置を順次ずらしていく事で試料表面全体の情報を得ます。 材料に特有なX線も表面から放出されるため、これを検出することにより、構成元素を調べることもできます。

走査型プローブ顕微鏡

 先端が鋭くとがった針(探針)を物質表面に近づけ、探針と試料間に働く様々な物理的相互作用を検出することで、物質表面の像を得ます。相互作用にトンネル電流を用いるものはSTM、原子間力を用いるものはAFMと呼ばれ、原子スケールで表面の凹凸像を得ることができます。

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